一种波导微腔马赫-曾德干涉型折射率传感器的制备方法

  科技成果名称

  一种波导微腔马赫-曾德干涉型折射率传感器的制备方法

  完成单位

  聊城大学物理科学与信息工程学院

  成果简介

  本发明属于光学传感领域,提出了一种新的微腔传感结构,用以扩展现有传感器的检测范围,可应用于光纤传感及光波导传感具体如下:

  微腔传感器具有结构紧凑、制备简单、灵敏度高等优势,在光纤传感及光波导领域应用广泛。本发明通过优化光纤及光波导微腔结构,可显著提高现有光学微腔传感器的灵敏度,并保持较高的光谱分辨率,可用于光纤传感相关的环境检测、生化传感等领域。

  

  知识产权情况

  发明专利情况:已授权(2025年8月)。

  授权号:CN 115901684 B

  成果成熟度

  ☑实验室阶段

  成果转化方式

  ☑技术转让    ☑技术入股    ☑许可使用